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MBRAUN研发出一系列镀膜系统,配合多种可选配件和定制化方案,用于多种镀膜工艺领域中. MBRAUN的镀膜系统可集成多种主流蒸镀工艺,如热蒸镀、温控蒸镀(用于有机材料)、电子束蒸发等一体化方案;以及射频、直流或脉冲直流磁控溅射以及被动式磁控溅射等.
可集成MBRAUN手套箱(由过渡舱实现连接)
应用:
小型PVD腔室,专门用于钙钛矿蒸镀
专门用于钙钛矿蒸镀
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